半導體潔凈室建設地面施工工藝規(guī)范

       半導體潔凈室地面系統(tǒng)需滿足嚴格的物理化學性能指標。根據(jù)SEMI標準及《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》，地面系統(tǒng)應具備以下特性：平整度誤差≤2mm/2m，耐磨轉(zhuǎn)數(shù)≥2000轉(zhuǎn)，抗壓強度≥80MPa，系統(tǒng)電阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同時需滿足防靜電、耐化學品腐蝕、抗熱沖擊等特殊要求。

一、地面結(jié)構(gòu)體系

1.基層處理要求

       混凝土基層強度等級不低于C30，厚度≥150mm?；鶎雍市杩刂圃?%以下，表面平整度偏差≤3mm/2m。施工前需進行基層打磨處理，確保表面無油污、無空鼓，并涂刷專用界面劑增強粘結(jié)力。

2.防靜電接地系統(tǒng)

       采用0.05mm×50mm紫銅箔鋪設接地網(wǎng)絡，網(wǎng)格間距不大于6m×6m。銅箔交叉點采用焊接連接，接地電阻值≤1Ω。接地端子需與建筑接地主干線可靠連接，形成完整的靜電泄放通道。

二、面層材料選擇

1.環(huán)氧樹脂自流平

       選用無溶劑型環(huán)氧樹脂材料，體積電阻率控制在10^6~10^8Ω·cm。面層厚度≥2.0mm，施工時一次成型，確保無接縫、無氣泡。材料需通過UL94-HB阻燃認證，耐酸堿性能達到72小時無變化。

2.聚氨酯砂漿地面

       適用于溫差變化較大區(qū)域，彈性模量≥5000MPa。采用4mm厚自流平施工工藝，抗沖擊性能≥15J，耐溫范圍-40℃~120℃。表面摩擦系數(shù)0.6~0.8，滿足防滑要求。

三、特殊區(qū)域處理

1.設備基礎區(qū)域

       高精度設備基礎采用獨立地基，與主體結(jié)構(gòu)設置20mm隔離縫。地面承載力需根據(jù)設備要求專項設計，通常不低于10kN/m2。振動敏感區(qū)域需設置減振溝，振幅控制在2μm以內(nèi)。

2.管線穿越部位

       管線穿地面處需設置不銹鋼護套，并進行密封處理。采用彈性密封膠填充縫隙，確保氣密性。大型管線周圍設置加強鋼筋，防止地面開裂。

四、施工工藝控制

1.環(huán)境條件要求

       施工環(huán)境溫度需控制在15℃~30℃，相對濕度45%~65%。基層溫度應高于露點溫度3℃以上，施工現(xiàn)場保持正壓，潔凈度不低于ISO 8級。

2.施工工序管理

       嚴格執(zhí)行基層處理→導電層鋪設→中涂施工→面層施工的工序。每道工序完成后需進行質(zhì)量檢驗，重點檢查平整度、電阻值和粘結(jié)強度。施工間隔時間需嚴格按材料特性控制。

五、檢測與驗收

1.性能檢測項目

       表面電阻：按2m×2m網(wǎng)格布點檢測

       平整度：采用2m靠尺配合塞尺測量

       粘結(jié)強度：拉拔試驗值≥2.5MPa

       耐腐蝕性：標準試劑浸泡試驗

2.驗收標準

       所有檢測點合格率需達到95%以上，地面無開裂、起泡、脫層等缺陷。防靜電性能測試需在環(huán)境溫度23±2℃，相對濕度50±5%的標準條件下進行。

       半導體潔凈室地面日常維護需使用專用清潔劑，避免使用強酸強堿化學品。每月進行一次表面電阻檢測，每季度檢查接地系統(tǒng)連接可靠性。重型設備移動需鋪設防護墊層，防止地面損傷。建立維護檔案，記錄各項檢測數(shù)據(jù)。

       半導體潔凈室通過嚴格遵循設計標準、精選材料、規(guī)范施工和科學維護，可確保地面系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。建議建立全生命周期管理制度，定期進行系統(tǒng)評估，及時實施預防性維護，為半導體制造提供可靠的基礎環(huán)境保障。